精密光學(xué)反光鏡
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紫外曝光、光刻
匯博光學(xué)提供IC半導(dǎo)體光刻機、FPD液晶面板曝光設(shè)備、PCB線路板曝光機系統(tǒng)使用的精密光學(xué)薄膜產(chǎn)品。包括各種大功率深橢球分光鏡、45°平面反射鏡、介質(zhì)膜反射鏡、鋁增強型反射鏡、復(fù)眼透鏡、365nm帶通濾光片、光配向反射鏡、異形反射鏡等。精密光學(xué)薄膜器件采用精密模壓及數(shù)控加工，鍍制多層硬質(zhì)氧化物薄膜，具有光斑均勻性好、反射效率高、壽命長等特點。主要應(yīng)用包括IC半導(dǎo)體、PCB、LED、MEMS、TFT、LCD、紫外固化、紫外點光源等產(chǎn)業(yè)方向。
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